半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
创业项目背景图案
该产业化园集结了十余家半导体技术关联机构,来设计日净化治理 效率5000吨,要求净化治理 来于不一样的机构的混污废水除理 。由各机构产生施工工艺差异性大,污废水除理 化学成分多样化变幻莫测,净化治理 难易较高。
废液的成分及来历
污水处理方法重要还有三个类:高浓硫酸氧化还原电位有机的物污水处理方法(光刻胶、显影液液等)、含氟污水处理方法(刻蚀生产工艺)和酸碱度污水处理方法(擦拭生产工艺)。专项 部分还有异丙醇、四甲基氢氧化反应铵等难挥发有机的物物,以其氟化物、氯离子等硅酸空气化工废水。污水处理方法COD浮动大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸氧化还原电位100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
工作工艺程序程序
主要包括"归类汇集+分质除理+密集广度除理"的信息化的模式:
的企业内部的几大类预治理:含氟焦化废水分次收集整理并预治理
园林管道工程划分类别输送带系统性
总体调控池均等化地表水
多级混泥土沉定彻底清除浮动物和电解质溶液
极有效率生物技术影响器(HBR)治理有机酸污染问题物
O3崔化氧化反应可降解难分析巧妙物
反渗透装置到软件系统来脱盐工作
UV紫外光线线杀菌为了保证满水后安全性
特别的设有了网络监测软件软件软件软件和会自动加量软件软件,如何应对地表水跌涨。
决定性郊果
软件行驶五年来,加工处理成效安全可信。满水后COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,高达地下水Ⅳ类基准,有些造纸废水处理于产业园区规划公路绿化及降温塔补充水分,造纸废水处理率突破30%。每月减掉剥好水操作约十万吨,为产业园区规划制造业企业避免浪费电费上百万美金。