某半导体行业除理芯片研制厂在晶圆制作加工时候中,食用硅烷确定硅外加导致,排放洗條塔导致高氧化还原电位含硅污废水除理措施 。污废水除理措施 有pH上下波动大(2-11)、硅的含量高的结构特征,傳統除理措施易会出现硅垢不通事情。
化工废水材质及由来
废气首要组分为:
可溶性高,溶于水的性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
氢被氧化钠/氢被氧化钠
:洗條塔腐蚀性洗條液残渣
粒状硅
:奈米级SiO₂溶液
痕量砷
:物料残渣进入
解决生产技术步奏
创新发展分为"有级与+膜滤水+蒸发掉析出"工艺设备:
考试内容一级中合
:用CaO改善pH至4-5,转换硅酸钙石雕文化沉淀,硅的还原率60%。
两级结合
:加Na₂CO₃将pH升降至9,进两步结晶剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置系統
:0.02μm陶瓷图片膜活性炭过滤纳米级级硅顆粒,通量保持稳定在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:沉淀高盐废水处理,凝结出Na₂SO₄副护肤品,水回收率超90%。
进而效果好
总硅从1500mg/L降下来5mg/L之下
砷含量的从0.8mg/L调至0.01mg/L
系統无积垢自动运行达到2年
第二年回报氢氧化钾钠晶状体约800吨