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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业除理芯片研制厂在晶圆制作加工时候中,食用硅烷确定硅外加导致,排放洗條塔导致高氧化还原电位含硅污废水除理措施 。污废水除理措施 有pH上下波动大(2-11)、硅的含量高的结构特征,傳統除理措施易会出现硅垢不通事情。 化工废水材质及由来 废气首要组分为: 可溶性高,溶于水的性硅酸盐 :SiO₂溶度达1000-1500mg/L 氢被氧化钠/氢被氧化钠 :洗條塔腐蚀性洗條液残渣 粒状硅 :奈米级SiO₂溶液 痕量砷 :物料残渣进入 解决生产技术步奏 创新发展分为"有级与+膜滤水+蒸发掉析出"工艺设备: 考试内容一级中合 :用CaO改善pH至4-5,转换硅酸钙石雕文化沉淀,硅的还原率60%。 两级结合 :加Na₂CO₃将pH升降至9,进两步结晶剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置系統 :0.02μm陶瓷图片膜活性炭过滤纳米级级硅顆粒,通量保持稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :沉淀高盐废水处理,凝结出Na₂SO₄副护肤品,水回收率超90%。 进而效果好 总硅从1500mg/L降下来5mg/L之下 砷含量的从0.8mg/L调至0.01mg/L 系統无积垢自动运行达到2年 第二年回报氢氧化钾钠晶状体约800吨

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