西安某半导体设备集成电路芯片生生成产商，晶圆生产加工时候中生成含硅、氟的特别的生活污水，设定治理经营规模1200吨/日。生活污水有效成分很复杂，有nm级硅科粒及氢氧化钠，普通治理方式 得以未达标。 化工废水组成成分及主要来源 一般破坏物 ：固体硅（100-500nm粒度分布）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 特征工艺技术 ：晶圆刻蚀生产污水（45%）、CMP耐腐蚀机诫增加光泽生产污水（40%）、机器擦洗水（15%） 进行处理生产工作流程步骤 科技创新选用"生物放置+机械膜离心分离"水平途径： 钙盐凝固 ：污泥脱水氯化钙清理氟阳离子（转换CaF2乳浊液） 斜管沉淀池表现 ：分手后复合斜板沉淀池剂确保固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜虚报冒领微细颗粒肥料 反参透操作系统 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 蒸发掉沉淀 ：浓水段体现氟化物零排卸 结果目的 氟化物盐浓度：<8mg/L（达不到国家的七级标准化10mg/L） 硅的含量：<5mg/L 水物资造纸废水处理率：70%在降温塔补充水分 危险废弃物减轻药量：化掉渣子量较传统艺术流程提高60%